氫氣發生設備目前已大量應用在以上工藝中，為半導體材料及器件制備提供好的氣源。進口氫氣發生器全部工作過程均由程序控制，自動恒壓、恒流，通過串聯控制線，可實現多組并聯使用，操作方便使用時只需打開電源開關即可產氫，使用后無需泄壓，直接關閉電源即可。可連續使用，也可間斷使用，產氫量穩定不衰減，且該設備配有安全裝置，電解超純水制氫，無腐蝕、無污染，配有壓力控制，缺水自動監控，漏氣自動檢測。

　　安裝該儀器可采用以下兩種方式：

　　吊裝式：凈化管的進氣口和出氣口都在儀器上部，出管口向下，從電解分離池或者壓縮機過來的氣體首先從固定蓋中間內突起的進氣口向下通過內襯芯管進入干燥劑底部，然后經過吸附劑的過濾后再向上返回到固定蓋周邊的出氣口，從而保證氣體經過有效的過濾后再輸出。

　　立裝式：過濾管的進氣口和出氣口都在儀器底部，開口向上。此方法有兩種：

　　（1）凈化管內加襯管，吸附劑裝入襯管內，氣體先經吸附劑吸附后再經凈化管與襯管中間的縫隙到凈化管底部輸出，此方法由于受結構及加工工藝的影響，襯管不易從凈化管內取出，甚者氣體受吸附劑阻力的影響而不流經吸附劑，造成未過濾的氣體直接輸出，影響色譜的正常使用；

　　（2）凈化管內加導管吸附劑裝入凈化管內，氣體先經吸附劑吸附后再經導管輸出，此方法多為不銹鋼管采用，但不銹鋼管為不透明不便于用戶直接觀察吸附劑的變化，不方便使用。

　　在使用進口氫氣發生器時需要留意以下事項：

　　為了確保氣體純度，發生器每工作1000小時，需要更換活性炭一次（活性碳為20-40目，鉛筆芯式）；

　　在工作過程中壓縮機不啟動，熱保護繼電器啟動，說明壓縮機溫度過高，待冷卻后即可自動恢復正常；

　　進氣口過濾器需定期清洗（周期視室內粉塵情況而定，可用超聲波清洗）以保持進氣通暢，否則易引起壓縮機工作負載增大并發熱，溫度過高時會發生過熱保護而導致停機；

　　因壓縮機是感性負載，通斷電時的瞬時電流比正常工作時高數倍，較易熔斷保險，應選用8A保險管，從觀察窗觀看變色硅膠的情況，用戶可根據需要更換新的硅膠，或進行干燥處理；更換變色硅膠后，要及時檢查凈化管兩端接口的氣密性，若有漏氣，要及時更換密封墊圈或凈化管；

　　由于壓縮機為開路工作方式，故潤滑油會隨水排出機外，造成消耗，所以在使用一年后適當給壓縮機加潤滑油，加油口在壓縮機出氣口旁邊或從進氣口亦可，建議加18號冷凍機油200克。