液質聯用氮氣發生器利用高壓空氣在高精密度中空纖維膜分離柱中分離制得高純度氮氣的儀器。中空纖維膜分離柱中，纖維狀的膜材料組成的致密空間內氮氣和氧氣分子的通過性不同，高壓空氣通過膜材料時，在進氣側和出氣側形成氮氣濃度差，膜分離柱中多重膜材料的依次通過累計放大了這種濃度差，在膜分離柱的進氣和出氣兩端表現出氮氣與空氣中其它氣體的分離，空氣經過膜分離柱，得到了高純度的氮氣。
 

　　液質聯用氮氣發生器包括氮氧分離系統、氮氣緩沖系統、空氣儲罐系統、電氣控制系統等，下面我們來逐一具體介紹一下。
 

　　1.氧氮分離系統：其主體是兩個裝滿碳分子篩的吸附塔，當潔凈壓縮空氣進入一吸附塔時，O2、CO2和微量H2O被碳分子篩吸附，氮氣從出口端輸出。當一塔在吸附制氮時，另一塔通過減壓使吸附在分子篩中的O2、CO2和H2O從微孔中排出，實現分子篩的生脫附。兩塔交替進行吸附和生，連續輸出氮氣，該系統由吸附塔、塔內裝填的碳分子篩、氣動閥、消聲器、節流閥、壓緊氣缸、壓力表等組成。
 

　　2.氮氣緩沖系統：其主要作用在于均衡從氮氧分離系統分離出來的氮氣的壓力和純度，保證連續供給氮氣。同時，在吸附塔進行生到吸附切換時，它將存儲的部分合格氮氣回充吸附塔保護床層，另外也有幫助吸附塔升壓的作用。該系統由緩沖罐、流量計、粉塵過濾器、調壓閥、節流閥、防護閥等組成。
 

　　3.空氣儲罐系統：保證氧氮分離系統用氣平穩，在氧氮分離系統切換時防止瞬間氣流流速過快，影響空氣凈化效果，提高進入吸附器的壓縮空氣品質，有利于延長分子篩的壽命。該系統由空氣儲罐、防護閥、截止閥、球閥、壓力表等組成。
 

　　4.電氣控制系統：其作用是設備啟停操作、工作狀態指示燈顯示、故障聲光報警指示、純度顯示和按設定程序驅動氣動閥。液質聯用氮氣發生器的電氣控制系統由可編程序控制器CPU、氣源三聯件、電磁閥、指示燈、微氧儀等組成，主要集中安裝于電控柜。